(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220998369.6 (22)申请日 2022.04.24 (73)专利权人 惠然科技有限公司 地址 102600 北京市大兴区金时大街3号院 6号楼1至 3层101 (72)发明人 梁建强　杨思源　杨润潇　 (74)专利代理 机构 北京万思博知识产权代理有 限公司 1 1694 专利代理师 秦贺余 (51)Int.Cl. F16F 15/08(2006.01) F16F 15/023(2006.01) G01N 23/2251(2018.01) (54)实用新型名称 扫描电子 显微镜减 震结构 (57)摘要 本实用新型公开了一种扫描电子显微镜减 震结构， 包括多个水平减震单元， 所述水平减震 单元包括滚珠托板、 滚珠盖板和滚珠， 所述滚珠 托板和所述滚 珠盖板上相对应设置若干滚珠槽， 若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠 盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽内， 所述滚珠盖板固定于扫描电子显微镜主体的底 部。 本实用新型提供的减震结构利用球状联结降 低了电镜主体和支撑物之间的摩 擦力， 消弱从地 面、 支座等传导的机械振动在水平方向的分量， 提高电镜图像质量。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 217271663 U 2022.08.23 CN 217271663 U 1.一种扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 包括多个水平减震单元， 所述水平减震 单元包括滚珠托板、 滚珠盖板和滚珠， 所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚 珠槽， 若干所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述 滚珠槽内， 所述滚珠盖 板固定于扫描电子 显微镜主体的底部 。 2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 所述减震结构包括 四 个所述水平减震 单元， 所述滚珠盖板分别固定在所述扫描电子显微镜主体的底部的四个角 部。 3.根据权利要求2所述的扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 所述减震结构还包括 限位件， 所述限位件从所述滚珠托板的两相邻侧 边向上延伸， 用于对所述扫描电子显微镜 主体进行限位。 4.根据权利要求3所述的扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 所述限位件上设置有 缓冲件。 5.根据权利要求4所述的扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 所述缓冲件为橡胶垫 或气囊。 6.根据权利要求1 ‑5任一所述的扫描电子显微镜减震结构， 其特征在于， 还包括多个气 浮装置， 所述多个水平减震单 元分别固定在所述多个气浮装置的顶部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217271663 U 2扫描电子显微镜 减震结构 技术领域 [0001]本实用新型涉及扫描电子显微镜技术领域， 特别是涉及 一种扫描电子显微镜减震 结构。 背景技术 [0002]扫描电子显微镜(Scanning  Electron  Microscope， 缩写为SEM)， 简称扫描电镜， 是利用聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来的各种物理信号来调制成像的一种常用的 显微分析仪器。 [0003]机械振动和冲击问题对扫描电子显微镜成像后的图像质量、 分辨率影响较大， 目 前扫描电子显微镜主要依靠气浮装置作为减震措施， 如图1所示， 该措施一般将扫描电子显 微镜主体1放置在支 座2上， 在扫描电子显微镜主体1的底部和支 座2的顶部之间安装多个气 浮装置3(一般是安装在扫描电子显微镜主体底部的四个角部)来实施， 该措施实施过程中 对垂直于地 面的振动分量消弱能力较强， 但对平行地 面的振动分量消弱作用偏小。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的至少在于提供一种可消弱扫描电子显微镜的水平方向振动的 减震结构。 [0005]为达到上述目的， 本实用新型提供如下技 术方案： [0006]一种扫描电子显微镜减震结构， 包括多个水平减震单元， 所述水平减震单元包括 滚珠托板、 滚珠盖板和滚珠， 所述滚珠托板和所述滚珠盖板上相对应设置若干滚珠槽， 若干 所述滚珠夹持在所述滚珠托板和所述滚珠盖板之间并分别限位在相对应的所述滚珠槽内， 所述滚珠盖 板固定于扫描电子 显微镜主体的底部 。 [0007]可选地， 所述减震结构包括四个所述水平减震单元， 所述滚珠盖板分别固定在所 述扫描电子 显微镜主体的底部的四个角部 。 [0008]可选地， 所述减震结构还包括限位件， 所述限位件从所述滚珠托板 的两相邻侧边 向上延伸， 用于对所述扫描电子 显微镜主体进行限位。 [0009]可选地， 所述限位件上设置有缓冲件。 [0010]可选地， 所述缓冲件为橡胶垫或气囊。 [0011]可选地， 还包括多个气浮装置， 所述多个水平减震单元分别固定在所述多个气浮 装置的顶部 。 [0012]本实用新型提供的减震结构利用球状联结降低了电镜主体和支撑物之间的摩擦 力， 消弱从地面、 支座等传导的机械振动在水平方向的分量， 提高电镜图像质量。 本实用新 型提供的减震结构同样可应用于其 他高倍率显微镜， 例如透射式电子 显微镜。 [0013]根据下文结合附图对本实用新型的具体实施例的详细描述， 本领域技术人员将会 更加明了 本实用新型的上述以及其 他目的、 优点和特 征。说　明　书 1/3 页 3 CN 217271663 U 3