(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211472604.7 (22)申请日 2022.11.23 (71)申请人 深圳市恒运昌真空技 术有限公司 地址 518100 广东省深圳市宝安区西乡街 道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套 区B栋101,201,3 01 (72)发明人 唐亚海　林伟群　林桂浩　 (74)专利代理 机构 北京惟盛达知识产权代理事 务所(普通 合伙) 11855 专利代理师 陈钊 (51)Int.Cl. G06F 17/16(2006.01) H03L 7/06(2006.01) (54)发明名称 信号同步方法、 装置和等离 子电源系统 (57)摘要 本发明涉及信号同步技术领域， 公开提供了 一种信号同步方法、 装置和等离子电源系统， 该 方法包括： 依次获取参考频率； 对每个参考频率 形成的参考波形和待同步波形进行同步采样； 对 采样结果进行点积计算； 根据点积计算结果及相 应参考频率确定目标频率， 目标频率形成的波形 与待同步波形相同， 解决了 现有技术中通过主从 式设备转发信号的方式， 致使主从设备所连接的 腔体负载会获取到不同相位的电源控制信号的 问题。 权利要求书2页 说明书9页 附图7页 CN 115510388 A 2022.12.23 CN 115510388 A 1.一种信号同步方法， 其特 征在于， 包括： 依次获取参 考频率； 对每个参考频率形成的参 考波形和待同步波形进行同步采样； 对采样结果进行点积计算； 根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率， 所述目标频率形成的波形与所述待 同步波形相同。 2.根据权利要求1所述的信号同步方法， 其特征在于， 在所述对每个参考频率形成的参 考波形和待同步波形进行同步采样之前， 所述方法还包括： 对所述待同步波形进行高频滤 波。 3.根据权利要求1所述的信号同步方法， 其特 征在于， 还 包括： 计算所述目标 频率对应的目标相位。 4.根据权利要求3所述的信号同步方法， 其特 征在于， 还 包括： 锁定并输出 所述目标 频率和所述目标相位。 5.根据权利要求1所述的信号同步方法， 其特征在于， 所述依次获取参考频率为： 从预 设频率范围内依次获取参 考频率。 6.根据权利要求1所述的信号同步方法， 其特征在于， 所述根据点积计算结果及相应参 考频率确定目标 频率包括： 根据点积计算结果确定 中间频率， 所述中间频率是使点积计算形成的点积波形振幅在 预设振幅范围内的参 考频率； 以所述中间频率 为扫频起始点， 按照预设 分辨率进行扫频， 进 而确定所述目标 频率。 7.根据权利要求6所述的信号同步方法， 其特征在于， 所述根据点积计算结果确定 中间 频率包括： 判断当前参 考频率的点积计算形成的波形振幅是否在所述预设振幅范围之内； 若不在， 则获取下一参考频率， 并判断下一参考频率的点积计算形成的波形振幅是否 在所述预设振幅范围之内， 直至获取到点积 计算形成的波 形振幅在所述预设振幅范围之内 的参考频率； 若在， 则将获取的当前参 考频率作为中间频率。 8.根据权利要求6所述的信号同步方法， 其特征在于， 所述扫频按照预设方向进行， 预 设方向为由大变小或由小变大。 9.根据权利要求7所述的信号同步方法， 其特征在于， 若当前参考频率的点积计算形成 的波形振 幅不在所述预设振 幅范围之内， 在所述获取下一参考频率之前， 所述根据点积计 算结果确定中间频率还 包括： 判断当前参 考频率的点积计算形成的波形振幅是否超出设定阈值； 所述获取下一参考频率包括： 若超出所述设定阈值， 则按照固定频段间隔跳频获取下 一参考频率。 10.根据权利要求9所述的信号同步方法， 其特征在于， 在所述获取下一参考频率之前， 所述根据点积计算结果确定中间频率还 包括： 若未超出所述设定 阈值， 则根据当前参考频率的点积计算形成的波形振幅确定当前跳 频间隔， 所述当前跳频间隔和点积计算形成的波形振幅呈正相关变化；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115510388 A 2所述获取 下一参考频率包括： 按照所述当前跳频间隔跳频获取 下一参考频率。 11.根据权利要求5所述的信号同步方法， 其特征在于， 所述从预设频率范围内依次获 取参考频率为： 按照频率从小到大或者按照频率从大到小的顺序依次从预设频率范围内依 次获取参 考频率。 12.根据权利要求1所述的信号同步方法， 其特征在于， 在所述依次获取参考频率之前， 所述方法还 包括： 获取待处 理电源信号； 将所述电源信号进行归一 化处理， 得到所述待同步波形。 13.一种信号同步装置， 其特 征在于， 包括： 参考频率获取模块， 用于依次获取参 考频率； 采样模块， 用于对每 个参考频率形成的参 考波形和待同步波形进行同步采样； 点积计算模块， 用于对 采样结果进行点积计算； 频率确定模块， 用于根据点积计算结果及相应参考频率确定目标频率， 所述目标频率 形成的波形与所述待同步波形相同。 14.一种等离 子电源系统， 其特 征在于， 包括主设备和从设备， 所述从设备包括锁相环； 所述主设备， 产生待处 理电源信号； 所述锁相环， 获取所述待处理电源信号； 将所述电源信号进行归一化处理， 得到待同步 波形， 并通过执行权利要求1 ‑11任一项所述的信号同步方法， 锁定并向所述从设备输出目 标频率和目标相位， 实现所述主设备与所述从设备通过所述锁相环实现信号同步， 所述 目 标频率形成的波形与所述待同步波形相同， 所述目标相位与所述目标 频率对应。 15.一种计算机设备， 其特征在于， 包括： 处理器、 存储器和总线， 所述存储器存储有所 述处理器可执行 的机器可读指令， 当计算机设备运行时， 所述处理器与所述存储器之间通 过总线通信， 所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如权利要求1至12中任一项所述 信号同步方法。 16.一种计算机可读存储介质， 其特征在于， 该计算机可读存储介质上存储有计算机程 序， 该计算机程序被处 理器运行时执 行如权利要求1至12中任一项所述信号同步方法。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115510388 A 3