(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211200514.2 (22)申请日 2022.09.29 (71)申请人 苏州米洛微纳电子科技有限公司 地址 215200 江苏省苏州市吴江区黎里镇 城司路158号 (72)发明人 徐宝　吴刚　徐元　 (74)专利代理 机构 苏州市中南伟业知识产权代 理事务所(普通 合伙) 32257 专利代理师 朱振德 (51)Int.Cl. B24B 29/02(2006.01) B24B 7/22(2006.01) B24B 7/17(2006.01) B24B 27/00(2006.01) B24B 47/12(2006.01)B24B 41/06(2012.01) (54)发明名称 汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备 (57)摘要 本发明涉及晶圆加工附属装置的技术领域， 特别是涉及一种汽车传感芯片生产用晶圆表面 抛光设备， 包括底板和圆台， 圆台固定在 底板上， 圆台上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块， 若 干滑动块顶端均转动设置有驱动轮， 驱动轮外壁 上设置有阻尼垫， 圆台上设置有抛光组件， 抛光 组件由抛光动板和抛光定板组成， 抛光定板固定 在圆台上， 抛光动板安装在底板上， 抛光动板位 于抛光定板正上方， 且抛光动板能够上下滑动； 圆台上纵向贯通设置有若干滑动孔， 滑动块在对 应的滑动孔内做向心或离心运动， 若干驱动轮同 步同向旋转。 本发明中同步对晶圆的两个面进行 抛光处理， 抛光过程中无需停机， 无需工作人员 参与， 省时省力， 工作效率高。 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 CN 115256199 A 2022.11.01 CN 115256199 A 1.一种汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 包括底板 （1） 和圆台 （2） ， 圆台 （2） 固定在底板 （1） 上， 圆台 （2） 上呈圆周状均匀滑动设置有若干滑动块 （3） ， 若干滑动 块 （3） 顶端均转动设置有驱动轮 （4） ， 驱动轮 （4） 外壁上设置有阻尼垫 （5） ， 圆台 （2） 上设置有 抛光组件， 抛光组件由抛光动板 （6） 和抛光定板 （7） 组成， 抛光定板 （7） 固定在圆台 （2） 上， 抛 光动板 （6） 安装在底板 （1） 上， 抛光动板 （6） 位于抛光定板 （7） 正上方， 且 抛光动板 （6） 能够上 下滑动； 圆台 （2） 上纵 向贯通设置有若干滑动孔 （8） ， 滑动块 （3） 在对应的滑动孔 （8） 内做向心 或 离心运动， 若干驱动轮 （4） 同步同向旋转。 2.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 若干滑 动块 （3） 上均纵向贯穿转动设置有转轴 （9） ， 驱动轮 （4） 固定安装在转轴 （9） 顶端， 转轴 （9） 底 端固定设置有联动轮 （10） ， 若干联动轮 （10） 上传动套设有皮带 （1 1） ； 底板 （1） 上滑动设置有滑动座 （12） ， 滑动座 （12） 上设置有电机 （13） ， 电机 （13） 输出端设 置有输出轴 （14） ， 输出轴 （14） 背向电机 （13） 的一端与若干联动轮 （10） 中的一个驱动轮 （4） 固定连接 。 3.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 还包括 环形板 （15） ， 环形板 （15） 套在若干滑动块 （3） 的外部， 若干滑动块 （3） 的离心一端均 设置有 凹槽 （16） ， 环形板 （15） 的内圈壁与凹槽 （16） 内壁滑动 连接， 环形板 （15） 的内圈壁上均匀设 置有若干斜坡道 （17） ， 斜坡道 （17） 的数量与滑动块 （3） 的数量一致， 滑动块 （3） 的离心一端 与滑动孔 （8） 的内壁之间设置有第一弹簧 （18） ， 底板 （1） 上固定设置有支撑架 （19） ， 支撑架 （19） 顶端固定设置有气缸 （20） ， 气缸 （20） 输出端设置有伸缩轴 （21） ， 伸缩轴 （21） 背向气缸 （20） 的一端 固定设置有齿条 （22） ， 环形板 （15） 的圆周外壁上设置有齿结构， 齿条 （22） 与环 形板 （15） 上的齿结构啮合。 4.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 底板 （1） 上固定设置有支撑板 （23） ， 支撑板 （23） 上设置有 方形孔 （24） ， 方形孔 （24） 内滑动设置有 移动块 （25） ， 方形孔 （24） 内底壁上转动设置有转动柱 （26） ， 转动柱 （26） 顶端转动贯穿方形 孔 （24） 内顶壁， 转动柱 （26） 的圆周外壁位于方形孔 （24） 内的部分设置有外螺纹， 移动块 （25） 螺装套设在转动柱 （26） 上， 抛光动板 （6） 的一端与移动块 （25） 朝向圆台 （2） 的一端铰 接； 抛光定板 （7） 顶端设置有两根限位柱 （27） ， 两根限位柱 （27） 分别位于圆台 （2） 的两侧， 抛光动板 （6） 上与两根限位柱 （27） 对应的位置上纵向贯 通设置有限位 孔 （28） 。 5.根据权利要求2所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 底板 （1） 上设置有滑动槽 （29） ， 滑动槽 （29） 内滑动设置有调节座 （30） ， 调节座 （30） 与滑动槽 （29） 内壁之间设置有第二弹簧 （31） ， 调节座 （30） 顶端转动设置有连接轴 （32） ， 连接轴 （32） 顶端 固定设置有撑紧轮 （3 3） ， 撑紧轮 （3 3） 的圆周外壁与皮带 （1 1） 的外圈壁紧密接触。 6.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 圆台 （2） 顶端设置有两个圆弧支板 （34） ， 两个圆弧支板 （34） 的顶面与抛光定板 （7） 的顶面齐平， 两个圆弧支板 （34） 位置对称。 7.根据权利要求4所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 转动柱 （26） 顶端固定设置有圆板 （3 5） ， 圆板 （3 5） 顶端的圆心位置转动设置有摇杆 （3 6） 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115256199 A 28.根据权利要求1所述的汽车传感芯片生产用晶圆表面抛光设备， 其特征在于， 底板 （1） 底端设置有支腿 （37） ， 底板 （1） 顶端固定设置有立柱 （38） ， 立柱 （38） 顶端与圆台 （2） 底端 固定连接 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115256199 A 3