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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211360190.9 (22)申请日 2022.11.02 (71)申请人 菲特晶 (南京) 电子有限公司 地址 210000 江苏省南京市经济技 术开发 区新港大道80 -2号 (72)发明人 郑嵩  (74)专利代理 机构 南京汇业佳知识产权代理事 务所(普通 合伙) 32708 专利代理师 朱军 (51)Int.Cl. B24B 9/06(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 55/00(2006.01) B24B 55/06(2006.01) B24B 47/12(2006.01)B24B 47/22(2006.01) B08B 1/02(2006.01) (54)发明名称 一种石英晶片圆边装置及其圆边工艺 (57)摘要 本发明公开了一种石英晶片圆边装置, 包 括: 主体单元, 其包括支撑板以及对称设置在支 撑板两侧壁两端的侧板, 所述支撑板下侧壁固定 连接有位置对称的支撑架, 其中一个所述侧板固 定安装有驱动电机, 所述 驱动电机输出轴固定连 接有第一压盘, 另一个所述侧板转动连接有空心 筒, 所述空心筒靠近驱动电机输出轴的一端设置 有与第一压盘对应的第二压盘, 两个所述压盘 之 间共同压紧有石英晶片, 所述石英晶片正上方设 置有匹配的圆边辊。 本发明通过对石英片边缘处 打磨较为均匀, 且打磨效率较高, 打磨后石英晶 片在经过清洗罩的时候, 实现对石英晶片的清 洗, 集打磨清洗于一体, 简化了工艺, 缩减了来回 转运石英晶片所需要的时间。 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 CN 115533666 A 2022.12.30 CN 115533666 A 1.一种石英晶片圆边装置, 其特 征在于, 包括: 主体单元(100), 其包括支撑板(101)以及对称设置在支撑板(101)两侧壁两端的侧板 (102), 所述支撑板(101)下侧壁固定连接有位置对称的支撑架, 其中一个所述侧板(102)固 定安装有驱动电机(103), 所述 驱动电机(103)输出轴固定连接有第一压盘(104), 另一个所 述侧板(102)转动连接有空心筒(105), 所述空心筒(105)靠近驱动电机(103)输出轴的一端 设置有与第一压盘(104)对应的第二压盘(106), 两个所述压盘之间共同压紧有石英晶片, 所述石英晶片正上 方设置有匹配的圆边辊(107); 伸出调节单元(200), 其包括与空心筒(105)侧壁转动连接的调节杆(201)以及与空心 筒(105)两端内壁转动连接有丝杆(203), 所述调节杆(201)向内贯穿空心筒(105)侧壁固定 连接有第一斜齿轮(204), 且丝杆(203)上固定套设有与第一斜齿轮(204)啮合的第二斜齿 轮(205), 所述丝杆(203)上螺纹连接有移动块(206), 所述移动块(206)远离第二斜齿轮 (205)的一侧固定连接有位置对称的伸出杆(202), 多组所述伸出杆(202)向外贯穿空心筒 (105)端壁与第二压盘(10 6)固定连接 。 2.根据权利要求1所述的一种 石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述圆边装置还包括高 度调节单元(300), 其包括与对应侧板(102)上侧壁转动 连接的螺纹杆(301), 且侧板(102) 外侧壁开设有与螺纹杆(301)匹配的条型开口, 所述螺纹杆(301)上螺纹连接有升降套 (302), 所述升降套(302)与条型开口竖直滑动 连接, 且升降套(302)远离侧板(102)的一侧 固定连接有对应的折弯杆(3 03), 两组所述 折弯杆(3 03)均与圆边辊(107)相抵 。 3.根据权利要求2所述的一种石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述升降套(302)与条 型开口通过多组位置对称的 限位滑块(304)和限位滑槽竖直滑动连接, 且每个折弯杆(303) 远离升降套(3 02)的一端固定连接有对应的压片(3 05)。 4.根据权利要求1所述的一种 石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述圆边装置还包括清 洁单元(400), 其包括与支撑板(101)下侧壁的竖直杆(401)以及与竖直杆(401)竖直滑动连 接的竖直滑套(402), 所述竖直滑套(402)上竖直滑动连接有对应的定位螺栓(403), 且 竖直 滑套(402)侧壁通过连接柱固定连接有支撑臂(404), 所述支撑臂(404)顶端 固定连接有对 应的清洗罩(40 5), 所述支撑 板(101)中心处开设有与清洗罩(40 5)匹配的矩形开口。 5.根据权利要求4所述的一种石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述清洗罩(405)设置 成弧形, 且清洗罩(40 5)与支撑 板(101)竖直滑动连接 。 6.根据权利要求1所述的一种石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述丝杆(203)上固定 套设有隔片(207), 所述隔片(207)位于第二 斜齿轮(20 5)与移动块(20 6)之间。 7.根据权利要求4所述的一种石英晶片圆边装置, 其特征在于: 所述清洗罩(405)上侧 壁两端铰接有匹配的擦拭板(40 6), 擦拭板(40 6)上表面铺设有 擦拭海绵。 8.一种石英晶片圆边工艺, 其特征在于: 所述圆边工艺适用于以上权利要求1 ‑7中任意 一种圆边装置, 且圆边工艺包括以下步骤: S1: 将需要加工 的石英晶片放在第一压盘(104)和第二压盘(106)之间, 正向转动调节 杆(201), 伸出杆(202)能够带动第二压盘(106)对石英晶片进行压紧, 此时石英晶片位置固 定; S2: 转动螺纹杆(301), 与螺纹杆(301)螺纹连接的升降套(302)通过折弯杆(303)带动 圆边辊(107)与石英晶片边缘处相抵, 向上移动输出滑套, 使石英晶片下边缘插入清洗罩权 利 要 求 书 1/2 页 2 CN 115533666 A 2(405)内, 向清洗罩(40 5)内加入清洗液, 然后启动驱动电机(10 3); S3: 驱动电机(103)输出轴通过第一压盘(104)带动石英晶片转动, 圆边辊(107)对石英 晶片进行圆边研磨, 研磨后的石英晶片在通过清洗罩(40 5)的时候, 能够被快速清洗; S4: 圆边处理之后, 关闭驱动电机(103), 反向转动调节杆(201), 伸出带动第二压盘 (106)朝着空心筒(10 5)移动, 取 下石英晶片便可。权 利 要 求 书 2/2 页 3 CN 115533666 A 3

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