(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211205141.8 (22)申请日 2022.09.30 (71)申请人 浙江海纳半导体股份有限公司 地址 324000 浙江省衢州市开 化县华埠镇 万向路5号 (72)发明人 潘金平　肖世豪　沈益军　张立安　 饶伟星　吴雄杰　杨国梁　程富荣　 冯小娟　赵亮　 (74)专利代理 机构 温州青科专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 33390 专利代理师 钱磊 (51)Int.Cl. B24B 19/22(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 47/22(2006.01) (54)发明名称 一种单晶硅片自动翻面磨削 设备 (57)摘要 本发明公开了一种单晶硅片自动翻面磨削 设备， 包括工作台、 固定组件、 夹持组件和吸料组 件， 所述工作台的上表面固定有支架， 所述支架 上安装有磨削组件； 本发明通过吸料组件和夹持 组件的配合， 在单晶硅片一面磨削完成后， 控制 单晶硅片进行自动翻转， 提高了单晶硅片的磨削 效率和精度； 通过吸盘与 吸尘机的配合， 在磨削 单晶硅片时， 将单晶硅片吸附固定在吸盘上， 同 时还可吸走磨削产生的碎屑， 避免碎屑弥漫在空 气中影响加工环境， 也避免了碎屑堆积残留于单 晶硅片表 面影响研磨精度； 砂轮下端拐角处设置 为弧形， 通过第一电机、 第一电动推杆和砂轮的 配合， 不仅可 以磨削单晶硅片表面， 还可 以利用 砂轮的弧形拐角处对单晶硅片侧边进行倒角作 业。 权利要求书2页 说明书5页 附图3页 CN 115476237 A 2022.12.16 CN 115476237 A 1.一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于， 包括工作台 （1） 、 固定组件 （4） 、 夹持 组件 （5） 和吸料组件 （6） ， 所述工作台 （1） 的上表 面固定有支架 （2） ， 所述支架 （2） 上安装有磨 削组件 （3） ； 所述磨削组件 （3） 包括转轴 （301） 、 第一电机 （302） 、 砂轮 （306） 和第一电动推杆 （304） ， 所述转轴 （301） 的一端转动连接在支架 （2） 上， 所述第一电机 （302） 安装在支架 （2） 的一侧， 且所述转轴 （301） 的一端穿过支架 （2） 与第一电机 （302） 的输出轴连接， 所述转轴 （301） 的另 一端固定有支撑板 （303） ， 所述第一电动推杆 （304） 固定在支撑板 （303） 的下表 面， 所述第一 电动推杆 （304） 活塞杆端固定有固定座 （305） ， 所述固定座 （305） 的内部安装有第二电机， 所 述砂轮 （3 06） 安装在第二电机的输出轴上； 所述固定组件 （4） 包括吸盘 （401） 和吸尘机 （7） ， 所述吸盘 （401） 呈漏斗形设置， 所述吸 盘 （401） 的上表面设置有若干个吸风孔 （402） ， 所述吸盘 （401） 的下端嵌装在工作台 （1） 上， 且所述吸盘 （401） 的下端连通有导管 （404） ， 所述导管 （404） 的一端与吸尘机 （7） 连通， 所述 工作台 （1） 的下 方安装有底板 （8） ， 所述 导管 （404） 安装在底板 （8） 上； 所述夹持组件 （5） 设置有两组， 两组所述夹持组件 （5） 对称安装在吸盘 （401） 的两侧， 且 所述夹持组件 （5） 可进行180 °翻转， 所述吸料组件 （6） 转动安装在工作台 （1） 上可进行一定 角度的转动， 所述吸料组件 （6） 位于其中一个夹持组件 （5） 的一侧。 2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述砂轮 （306） 呈倒梯形设置， 且所述砂轮 （306） 的下端拐角处设置为弧形， 所述吸盘 （401） 位于砂轮 （306） 的正下 方。 3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 每组所述夹持 组件 （5） 均包括固定板 （51） 、 第二电动推杆 （53） 和夹持件 （52） ， 所述固定板 （51） 的一端与工 作台 （1） 的上表 面固定， 所述第二电动推杆 （53） 固定在固定板 （51） 的一侧， 所述第二电动推 杆 （53） 活塞杆端通过翻转机构与夹持件 （52） 连接 。 4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述夹持件 （52） 包括固定块 （521） ， 所述固定块 （521） 的一侧开设有安装槽 （522） ， 所述安装槽 （522） 的 内部转动连接有双向螺杆 （523） ， 所述双向螺杆 （523） 的两端螺纹连接有夹板 （526） ， 两个所 述夹板 （526） 相对的一侧均固定有橡胶片 （528） ， 且两个所述夹板 （526） 的一端与安装槽 （522） 的内部滑动连接， 所述双向螺杆 （523） 的一端穿过安装槽 （522） 的一侧安装有第二马 达 （525） ， 所述第二马达 （525） 的一端连接有供电组件。 5.根据权利要求3所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述翻转机构 包括第一马达 （55） 和电机座 （54） ， 所述电机座 （54） 固定在第二电动推杆 （53） 的活塞杆端， 所述第一马达 （55） 安装在电机座 （54） 的内部， 所述第一马达 （55） 的输出轴与固定块 （521） 的另一侧固定 。 6.根据权利要求4所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述供电组件 包括锂电池 （524） ， 所述锂电池 （524） 嵌装在固定块 （521） 一侧外壁， 所述第二马达 （525） 与 锂电池 （524） 位于固定块 （521） 的同一侧； 所述夹板 （526） 的一端一体成型有凸块 （527） ， 所 述安装槽 （52 2） 的一侧开设有供凸块 （527） 相对滑动的滑槽 。 7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述吸料组件 （6） 包括L形杆 （601） 、 第三电动推杆 （602） 和吸嘴 （604） ， 所述L形杆 （601） 的一端转动连接在权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115476237 A 2工作台 （1） 上， 所述L形杆 （601） 的一端穿过工作台 （1） 安装有第三电机 （605） ， 所述第三电动 推杆 （602） 安装在L形杆 （601） 的另一端， 所述第三电动推杆 （602） 的活塞 杆端固定有安装座 （603） ， 所述安装座 （6 03） 上安装有吸 嘴 （604） 。 8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备， 其特征在于： 所述L形杆 （601） 不吸料时L形杆 （601） 的横置部与第二电动推杆 （53） 的安装方向垂直， 所述L形杆 （601） 在吸料时吸 嘴 （604） 位于吸盘 （401） 的中心。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115476237 A 3