(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123321946.2 (22)申请日 2021.12.27 (73)专利权人 无锡邑文电子科技有限公司 地址 214028 江苏省无锡市新吴区观山路1 号 (72)发明人 朱成好　 (74)专利代理 机构 北京众达德权知识产权代理 有限公司 1 1570 专利代理师 安磊 (51)Int.Cl. F04B 37/14(2006.01) F04B 39/10(2006.01) F04B 39/08(2006.01) F04B 49/06(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 抽真空装置以及去胶机 (57)摘要 本申请属于半导体加工技术领域， 具体涉及 一种抽真空装置以及去胶机。 该抽真 空装置包括 真空泵、 隔离阀以及蝶阀， 隔离阀设置有具有可 开闭的第一抽气通道， 隔离阀的第一抽气通道和 反应腔连通， 蝶阀设置有开度可调的第二抽气通 道， 蝶阀的第二抽气通道的两端分别和隔离阀的 第一抽气通道以及真空泵的输入端连通。 本申请 所采用的抽真空装置， 其中的主要构件采用单通 道的隔离阀， 以及具有开度可调的蝶阀， 可有效 降低成本， 且 单通道的隔离阀具有少故障点的特 点， 且更易维修， 以降低维护成本， 具有很好的实 用性。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217206772 U 2022.08.16 CN 217206772 U 1.一种抽真空装置， 其特 征在于， 所述抽真空装置包括： 真空泵； 隔离阀， 所述隔离 阀设置有具有可开闭的第一抽气通道， 所述隔离 阀的第一抽气通道 和反应腔连通； 蝶阀， 所述蝶阀设置有开度可调的第二抽气通道， 所述蝶阀的第二抽气通道的两端分 别和所述隔离阀的第一抽气通道以及所述真空泵的输入端连通。 2.根据权利要求1所述的抽真空装置， 其特 征在于， 所述隔离阀为气动真空隔离阀。 3.根据权利要求1所述的抽真空装置， 其特 征在于， 所述蝶阀包括： 阀座， 所述阀座上设置有贯 通且呈圆形的通道， 所述 通道被配置为所述第二抽气通道， 闸板， 所述闸板可转动地设置在所述 通道内， 以调整所述 通道的开度。 4.根据权利要求3所述的抽真空装置， 其特 征在于， 所述蝶阀还 包括： 电机， 所述电机设置在所述阀座上； 驱动杆， 所述驱动杆的沿所述通道的径向设置， 所述驱动杆的一端可转动地连接在所 述通道的内侧 壁上， 所述驱动杆 的另一端穿过所述通道的内侧 壁， 所述驱动杆的另一端和 所述电机的输出轴连接， 所述闸板固定套装在所述驱动杆 上。 5.根据权利要求 4所述的抽真空装置， 其特 征在于， 所述蝶阀还 包括： 控制器， 所述控制器设置在所述阀座上， 且， 所述控制器和所述电机电性连接， 所述控 制器可接收指令控制所述电机转动， 以调整所述 通道的开度。 6.一种去胶机， 其特征在于， 所述去胶机包括反应腔以及权利要求1 ‑5任一项所述的抽 真空装置， 所述抽真空装置的隔离阀的第一进气通道和所述反应腔连通。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217206772 U 2抽真空装 置以及去胶机 技术领域 [0001]本申请属于半导体加工技 术领域， 具体涉及一种抽真空装置以及去胶机 。 背景技术 [0002]半导体业内所用的去胶机设备中， 对反应腔需进行抽真空处理， 以使反应腔内部 处于真空状态。 [0003]现有技术中， 应用在去胶机的反应腔的抽真空装置价格 较贵， 且维护成本较高。 [0004]因此， 需对现有技 术进行改进。 发明内容 [0005]为解决上述技术问题， 本申请提供一种抽真空装置以及去胶机， 旨在至少能够在 一定程度上解决现有技 术中的抽真空装置价格 较贵， 以及维护成本高的技 术问题。 [0006]本申请的技 术方案为： [0007]一方面， 本申请提供了一种抽真空装置， 其特殊之处在于， 所述抽真空装置包括： [0008]真空泵； [0009]隔离阀， 所述隔离阀设置有具有可开闭的第一抽气通道， 所述隔离阀的第一抽气 通道和反应腔连通； [0010]蝶阀， 所述蝶阀设置有开度可调的第二抽气通道， 所述蝶阀的第二抽气通道的两 端分别和所述隔离阀的第一抽气通道以及所述真空泵的输入端连通。 [0011]优选地， 所述隔离阀为气动真空隔离阀。 [0012]在一些实施方案中， 所述蝶阀包括： [0013]阀座， 所述阀座上设置有贯通且呈圆形的通道， 所述通道被配置为所述第二抽气 通道， [0014]闸板， 所述闸板可转动地设置在所述 通道内， 以调整所述 通道的开度。 [0015]在一些实施方案中， 所述蝶阀还 包括： [0016]电机， 所述电机设置在所述阀座上； [0017]驱动杆， 所述驱动杆的沿所述通道的径向设置， 所述驱动杆的一端可转动地连接 在所述通道的内侧 壁上， 所述驱动杆的另一端穿过所述通道的内侧 壁， 所述驱动杆 的另一 端和所述电机的输出轴连接， 所述闸板固定套装在所述驱动杆 上。 [0018]在一些实施方案中， 所述蝶阀还 包括： [0019]控制器， 所述控制器设置在所述阀座上， 且， 所述控制器和所述电机电性连接， 所 述控制器可接收指令控制所述电机转动， 以调整所述 通道的开度。 [0020]另一方面， 本申请还提供了一种去胶机， 其特殊之处在于， 所述去胶机包括反应腔 以及上述抽真空装置， 所述抽真空装置的隔离阀的第一进气通道和所述反应腔连通。 [0021]本申请的有益效果至少包括： [0022]本申请所提供的一种去胶机， 由于其包括反应腔以及抽真空装置， 由于抽真空装说　明　书 1/4 页 3 CN 217206772 U 3