(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123335427.1 (22)申请日 2021.12.28 (73)专利权人 常州天曜智能装备有限公司 地址 213000 江苏省常州市新北区华 山路 18号 (72)发明人 廖国友　 (74)专利代理 机构 苏州璟融知识产权代理事务 所(普通合伙) 32484 专利代理师 钱滨滨 (51)Int.Cl. H01L 21/67(2006.01) B08B 13/00(2006.01) F26B 21/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种全自动智能清洁装置 (57)摘要 本实用新型涉及一种全自动智能清洁装置， 包括框架(1)， 安装到 所述框架(1)上的下料机构 (2)、 烘干机构(3)、 过滤板(4)、 清 洗箱(5)以及集 水箱(6)， 其中所述下料机构(2)用于固定硅片 (100)并放入到所述清洗箱(5)中， 所述过滤板 (4)位于所述清洗箱(5)一侧， 所述烘干机构(3) 可移动至所述清洗箱(5)上部将所述下料机构 (2)上的硅片(100)夹 取移动至所述过滤板(4)上 部， 所述集水箱(6)位于所述过滤板(4)下部； 所 述下料机构(2)能够卡合硅片并通过丝杆机构驱 动上下移动。 本装置通过丝杆机构实现了硅片的 上下料， 通过下料机构配合烘干机构将硅片运转 到烘干工位上， 实现对硅片的烘干 。 权利要求书1页 说明书3页 附图8页 CN 217009127 U 2022.07.19 CN 217009127 U 1.一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 包括框架(1)， 安装到所述框架(1)上的下料 机构(2)、 烘干机构(3)、 过滤板(4)、 清洗箱(5)以及集水箱(6)， 其中所述下料机构(2)用于 固定硅片(100)并放入到所述清洗箱(5)中， 所述过滤板(4)位于所述清洗箱(5)一侧， 所述 烘干机构(3)可移动至所述清洗箱(5)上部将所述下料机构(2)上的硅片(100)夹取移动至 所述过滤板(4)上部， 所述 集水箱(6)位于所述过 滤板(4)下部； 所述下料机构(2)包括固定设置到所述框架(1)上的底板(201)， 所述底板(201)上设置 有导轨固定板(202)， 所述导轨固定板(202)中间设置有丝杆机构(204)， 所述导轨固定板 (202)两侧设置有导轨(2021)， 所述导轨(2021)上设置有第一滑块(2022)， 所述第一滑块 (2022)通过托杆(2033)连接有一组导向板(2034)， 所述导向板(2034)上连接有插齿条 (2035)， 所述硅片(10 0)插入到所述插齿条(20 35)中。 2.根据权利要求1所述的一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 滑板(203)连接有水 平设置的拉臂(2031)， 所述拉臂(2031)端部连接有竖直设置的顶升架(2032)， 所述顶升架 (2032)底部连接有水平设置的托杆(20 33)。 3.根据权利要求1所述的一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 所述烘干机构(3)包 括固定设置到所述框架(1)上竖直设置的固定板(3010)， 所述固定板(3010)通过滑轨机构 连接位于所述过滤板(4)/清洗箱(5)上部的侧框(302)， 所述侧框(302)内两侧设置有用于 卡合所述硅片(100)的内卡件(303)， 所述侧框(302)外侧设置有 连通所述侧框(302)内部的 加热鼓风机(3 04)。 4.根据权利要求3所述的一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 所述侧框(302)的顶 部设置有透明上罩壳(3 01)。 5.根据权利要求3所述的一种 全自动智能清洁装置， 其特征在于： 所述滑轨机构包括固 定设置到所述固定板(3010)上的气缸(308)、 滑轨(307)， 所述滑轨(307)上设置有第二滑块 (306)， 所述气缸(308)的驱动端连接所述第二滑块(306)， 所述第二滑块(306)通过连接板 (305)连接所述侧框(3 02)。 6.根据权利要求5所述的一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 所述滑轨(307)的两 端设置有缓冲弹簧(3 071)， 所述连接 板(305)的两端设置有缓冲螺 丝(3051)。 7.根据权利要求6所述的一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 所述气缸(308)的两 端均设置有传感器(3 09)。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217009127 U 2一种全自动智能清洁装 置 技术领域 [0001]本实用新型 涉及一种清洁装置， 具体涉及一种全自动智能清洁装置 。 背景技术 [0002]单晶硅通常指的是硅原子的一种排列形式形成的物质。 硅是最常见应用最广的半 导体材料， 单 晶硅在制 造后需要进行清洗和烘干， 现有机构难以在同一装置中实现上述功 能。 实用新型内容 [0003]为解决上述 技术问题， 本实用新型的目的是提供一种全自动智能清洁装置 。 [0004]本实用新型的技 术方案如下： [0005]一种全自动智能清洁装置， 其特征在于： 包括框架(1)， 安装到所述框架(1)上的下 料机构(2)、 烘干机构(3)、 过滤板(4)、 清洗箱(5)以及集水箱(6)， 其中所述下料机构(2)用 于固定硅片(100)并放入到所述清洗箱(5)中， 所述过滤板(4)位于所述清洗箱(5)一侧， 所 述烘干机构(3)可移动至所述清洗箱(5)上部将所述下料机构(2)上的硅片(100)夹取移动 至所述过 滤板(4)上部， 所述 集水箱(6)位于所述过 滤板(4)下部； [0006]所述下料机构(2)包括固定设置到所述框架(1)上的底板(201)， 所述底板(201)上 设置有导轨固定板(202)， 所述导轨固定板(202)中间设置有丝杆机构(204)， 所述导轨固定 板(202)两侧设置有导轨(2021)， 所述导轨(2 021)上设置有第一滑块(2022)， 所述第一滑块 (2022)通过托杆(2033)连接有一组导向板(2034)， 所述导向板(2034)上连接有插齿条 (2035)， 所述硅片(10 0)插入到所述插齿条(20 35)中。 [0007]进一步的， 所述滑板(203)连接有水平设置的拉臂(2031)， 所述拉臂(2031)端部连 接有竖直设置的顶升架(20 32)， 所述顶升架(20 32)底部连接有水平设置的托杆(20 33)。 [0008]进一步的， 所述烘干机构(3)包括固定设置到所述框架(1 )上竖直设置的固定板 (3010)， 所述固定板(3010)通过滑轨机构连接位于所述过滤板(4)/清洗箱(5)上部的侧框 (302)， 所述侧框(302)内两侧设置有用于卡合所述硅片(100)的内卡件(303)， 所述侧框 (302)外侧设置有连通所述侧框(3 02)内部的加热鼓风机(3 04)。 [0009]进一步的， 所述侧框(3 02)的顶部设置有透明上罩壳(3 01)。 [0010]进一步的， 所述滑轨机构包括固定设置到所述固定板(3010)上的气缸(308)、 滑轨 (307)， 所述滑轨(307)上设置有第二滑块(306)， 所述气缸(308)的驱动端连接所述第二滑 块(306)， 所述第二滑块(3 06)通过连接板(305)连接所述侧框(3 02)。 [0011]进一步的， 所述滑轨(307)的两端设置有缓冲弹簧(3071)， 所述连接板(305)的两 端设置有缓冲螺 丝(3051)。 [0012]进一步的， 所述气缸(3 08)的两端均设置有传感器(3 09)。 [0013]借由上述方案， 本实用新型至少具有以下优点： [0014]本装置通过丝杆机构实现了硅片的上下料， 通过下料机构配合烘干机构将硅片运说　明　书 1/3 页 3 CN 217009127 U 3