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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211139297.0 (22)申请日 2022.09.19 (71)申请人 武汉精立电子技 术有限公司 地址 430205 湖北省武汉市东湖新 技术开 发区流芳园南路2 2号 申请人 苏州精濑光电有限公司 武汉精测电子集团股份有限公司 (72)发明人 洪志坤 欧昌东 郑增强 刘荣华 (74)专利代理 机构 武汉智权专利代理事务所 (特殊普通 合伙) 42225 专利代理师 牛晶晶 (51)Int.Cl. G06T 7/00(2017.01) (54)发明名称 一种基于视差法的多层缺陷定位检测方法 (57)摘要 本发明涉及一种基于视差法的多层缺陷定 位检测方法, 其包括以下步骤: 调整两个成像通 道的焦距, 使两个成像通道对焦于透明或者半透 明的待测产品的同一平面, 其中, 每个成像通道 至少包括一个镜头和一个图像传感器, 至少一个 成像通道的图像传感器的感光面的中心偏离对 应镜头的光轴; 利用所述两个成像通道同时对位 于对焦平面上的待测产品的同一目标区域进行 成像, 获取对应的两个目标图像; 对所述两个目 标图像进行数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷 进行分层定位。 当缺陷位于该对焦平面上时, 两 个成像通道拍摄出来的缺陷的位置相同, 当缺陷 不位于对焦 平面上时, 两个成像通道拍摄出来的 缺陷的位置不同, 可以判断出缺陷相对于对焦平 面所在的层次。 权利要求书1页 说明书6页 附图4页 CN 115471479 A 2022.12.13 CN 115471479 A 1.一种基于 视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特 征在于, 其包括以下步骤: 调整两个成像通道的焦距, 使两个成像通道对焦于透明或者半透明的待测产品(3)的 同一平面, 其中, 每个成像通道至少包括一个镜头(1)和一个图像传感器(2), 至少一个成像 通道的图像传感器(2)的感光 面的中心偏离对应镜 头(1)的光轴(1 1); 利用所述两个成像通道同时对位于对焦平面上的待测产品(3)的同一目标区域进行成 像, 获取对应的两个目标图像; 对所述两个目标图像进行 数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷进行分层定位。 2.如权利要求1所述的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特征在于, 所述调 整两 个成像通道的焦距, 使两个成像通道对焦于透明或者半透明的待测产品(3)的同一平面, 包 括: 将两个成像通道对焦于所述待测产品(3)的上表面或者下表面, 或者对焦于上表面与 下表面之间的任一层表面。 3.如权利要求1所述的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特征在于, 所述对所述 两个目标图像进行 数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷进行分层定位, 包括: 若计算出两个目标图像中缺陷的位置相同, 则缺陷位于所述对焦平面所在的层次; 若计算出两个目标图像中缺陷的位置不同, 则缺陷位于所述对焦平面以上或者以下的 层次。 4.如权利要求3所述的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特征在于, 所述对所述 两个目标图像进行 数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷进行分层定位, 还 包括: 根据同一 缺陷在两个目标图像中位置之间的距离, 判断缺陷所在的层次, 具体为, 若同一缺陷在两个目标图像中位置之间的距离相距越远, 则缺陷所在层次距离所述对 焦平面越远; 若同一缺陷在两个目标图像中位置之间的距离相距越近, 则缺陷所在层次距离所述对 焦平面越近 。 5.如权利要求1所述的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特征在于: 所述图像传 感器(2)接收可 见光或者非可 见光。 6.如权利要求1所述的基于 视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特 征在于: 所述两个成像通道的图像传感器(2)的感光面的中心均偏离对应镜头(1)的光轴(11), 且相互远离 。 7.如权利要求6所述的基于 视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特 征在于: 所述两个成像通道的图像传感器(2)分辨率相同、 尺寸相同, 两个所述目标图像的各个 像素点一一对应。 8.如权利要求6所述的基于 视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特 征在于: 所述两个成像通道的图像传感器(2)分辨率不同、 尺寸不同, 所述目标图像通过图像扩 展或者压缩后像素点 一一映射对应。 9.如权利要求1所述的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其特征在于: 所述至少两 个成像通道的镜 头(1)的光轴(1 1)平行设置 。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 115471479 A 2一种基于视差法的多层缺陷定位检测方 法 技术领域 [0001]本发明涉及半导体及显示领域玻璃材料或面板的外观自动化缺陷检测领域, 特别 涉及一种基于 视差法的多层缺陷定位检测方法。 背景技术 [0002]在目前的面板行业的发展中, 面板的缺陷一般包含表面缺陷和内部缺陷。 其中, 这 些缺陷包括划伤, 异物, 毛屑, 刮伤, 赃物等。 缺陷的存在使得工厂产品的生产良率降低。 而 有效的缺陷检测方法能拦截残次品, 使得客户的出货品质提升 。 [0003]在这些缺陷检测需求中, 有一类检测需求, 不仅需要检测出缺陷, 还需要对缺陷所 在的层次进 行判别。 例如一般的显示面板, 最上面一层一般是保护玻璃盖板。 由于玻璃盖板 可更换或者清洁, 而玻璃盖板下面处理成本较大, 所以不同层次的缺陷需要区分对待。 区分 处理的前提即为 通过成像的方式将缺陷所在 层次识别出来。 [0004]相关技术中, 目前的一种方式是使用侧光源进行照明, 膜内以及膜外(如玻璃盖板 内和上表面)的异物都会将光线照亮, 因而用相机进 行检测时, 不管是膜内还是膜外的异物 都会被检测出现, 但是这种 方式存在的问题有: 将膜外的灰尘, 脏污等缺陷, 会认为是膜内 的异物, 这样会认 为该屏因为存在异物而不合格, 但是该异物是膜上的异物, 可以通过擦拭 等方式去除, 并不能认为是屏的异 物, 因而无法区分膜内、 膜外异 物会将OK屏 与NG屏混淆。 [0005]因此, 有必要设计一种新的基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 以克服上述问 题。 发明内容 [0006]本发明实施例提供一种基于视差法的多层 缺陷定位检测方法, 以解决相关技术中 无法区分膜内、 膜外异 物会将OK屏 与NG屏混淆的问题。 [0007]第一方面, 提供了一种基于视差法的多层缺陷定位检测方法, 其包括以下步骤: 调 整两个成像通道的焦距, 使两个成像通道对焦于透明或者半透明的待测产品的同一平面, 其中, 每个成像通道至少包括一个镜头和一个图像传感器, 至少一个成像通道的图像传感 器的感光面的中心偏离对应镜头的光轴; 利用所述两个 成像通道同时对位于对焦平面上的 待测产品的同一目标区域进行成像, 获取对应的两个目标图像; 对所述两个目标图像进行 数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷进行分层定位。 [0008]一些实施例中, 所述调整两个成像通道的焦距, 使两个成像通道对焦于透明或者 半透明的待测产品的同一平面, 包括: 将两个成像通道对焦于所述待测产品的上表面或者 下表面, 或者对焦于上表面与下表面之间的任一层表面。 [0009]一些实施例中, 所述对所述两个目标图像进行数据分析, 进行缺陷检测, 并对缺陷 进行分层定位, 包括: 若计算出两个目标图像中缺陷的位置相同, 则缺陷位于所述对焦平 面 所在的层次; 若计算出两个目标图像中缺陷的位置不同, 则缺陷位于所述对焦平面以上或 者以下的层次。说 明 书 1/6 页 3 CN 115471479 A 3
专利 一种基于视差法的多层缺陷定位检测方法
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