ICS 31.200 L 55 中华人民共和国国家标准 GB/T33929—2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验 方法 Test methods of the performance for MEMS high g accelerometer 2018-02-01实施 2017-07-12 发布 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 中国国家标准化管理委员会 GB/T33929—2017 前言 本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草 本标准由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336)提出并归口。 本标准起草单位：中北大学、中机生产力促进中心。 本标准主要起草人：石云波、程红兵、唐军、李海斌、马宗敏、朱悦。 GB/T33929—2017 MEMS高g值加速度传感器性能试验 方法 1范围 本标准规定了MEMS高g值加速度传感器的电气性能和基本性能的术语和定义、试验条件、试验 的一般规定、试验项目及方法。 本标准适用于量程在1×10°g～2×10°g范围的MEMS高g值加速度传感器（以下简称加速度传 感器)性能试验。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注明日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T2421.1电工电子产品环境试验 概述和指南 GB/T7665传感器通用术语 GB/T26111微机电系统（MEMS)技术术语 JF1156振动冲击转速计量术语及定义 3术语和定义 GB/T7665、GB/T26111和JJF1156界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 霍普金森杆 FHopkinsonrod 采用弹性波在细长杆中传播而产生冲击运动的冲击装置。 4试验条件 4.13 环境条件 4.1.1标准大气条件 除非详细规范另有规定，所有试验应在GB/T2421.1所规定的试验用标准大气条件下进行。 4.1.2电磁条件 除产品技术条件另有规定，试验场地除地磁场外，应无其他外界电磁场。 4.1.3振动条件 除产品技术条件另有规定，试验场地测试台应无机械振动。 1 GB/T33929—2017 4.2 测试系统 4.2.1 绝对校准测试系统 绝对校准测试系统主要由霍普金森杆、激光干涉仪、数据采集装置等组成。 a） 冲击加速度幅值：1×10°g~2×10°g； b) 冲击加速度脉冲宽度：2×10-4s~1×10-5s； c) 激光干涉仪最大测速：不小于100m/s； d) 速度测量不确定度：不大于3%； e） 用于激光干涉仪光电信号的采集设备模拟带宽应不小于200MHz，用于加速度传感器输出采 集设备模拟带宽不小于（10/t）Hz或更高（t为脉冲持续时间，s）。 4.2.2冲击比较测试系统 冲击比较校准测试系统主要由冲击激励源、标准加速度传感器、数据采集装置等组成。冲击比较校 准冲击激励源主要有冲击台、马歇特锤等 a）冲击加速度幅值：1×10°g～4×10°g； b）冲击加速度脉冲宽度：1×10-3s~5×10-2s； c）用于加速度传感器输出采集设备模拟带宽不小于（10"/t)Hz(t为脉冲持续时间，s）。 4.2.3证书文件（实验设备和计量器的检定） 试验用的试验设备和计量器具应经过计量检定。 5试验的一般规定 5.1被测加速度传感器安装 若被测加速度传感器使用说明书对安装和连接做了详细规定，应符合使用说明书要求 加速度传感器安装于冲击运动体上，安装面应清洁平滑，粗糙度Ra<1.6um。冲击运动体和被测 加速度传感器组合体的共振频率应高于（10/t）Hz（t为脉冲持续时间，s）；应注意控制冲击体的旋转和 横向运动；应避免冲击机结构谐振对冲击运动体的影响。连接导线采用低噪声屏蔽电缆，尽可能避免和 被测加速度传感器相对运动。 5.2 放置和预热 被测加速度传感器和与试验有关的试验装置正确安装、连接后，应使其在试验环境条件下放置时间 不少于 1 h。 试验前，测试系统应进行通电预热；被测加速度传感器应通电预热0.5h。 6 试验项目及方法 SAC 6.1月 电气性能试验 6.1.1试验项目 电气性能试验项目如下： a）输入阻抗； 2