ICS 31.020 L 97 GB 中华人民共和国国家标准 GB/T 16880—1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则 Guidelines for photomask defect classification and size definition 1997-06-20发布 1998-03-01实施国家技术监督局发布 GB/T16880-1997 目次前言 1范围引用标准 3 掩模缺陷的类别光掩模缺陷大小的定义

GB-T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

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